硅片減薄機(jī)的發(fā)展歷程經(jīng)歷了由旋轉(zhuǎn)臺減?。ú捎肅REEP-Feed技術(shù)）到硅片自旋轉(zhuǎn)減?。ú捎肐N-Feed技術(shù)）的階段。旋轉(zhuǎn)臺減薄存在受力不均導(dǎo)致的硅片翹曲等問題，而硅片自旋轉(zhuǎn)減薄較好地避免了這些問題。

減薄工藝的技術(shù)難點在于硅片減薄至一定程度后容易翹曲、碎片。然而，隨著技術(shù)的不斷發(fā)展，硅片減薄機(jī)的性能也在不斷提升。目前，硅片減薄機(jī)的精度已經(jīng)能夠達(dá)到幾個微米。

此外，隨著Chiplet（將不同功能的裸芯片采用先進(jìn)封裝技術(shù)集成為單芯片）與3D封裝技術(shù)的不斷發(fā)展，芯片組厚度的增加有望催生前道環(huán)節(jié)對減薄機(jī)的需求。自動化與集成化（減薄拋光一體機(jī)等）也被認(rèn)為是減薄機(jī)的未來技術(shù)發(fā)展方向，自動化與集成化能夠降低成本、提升效率，同時自動化還可以避免減薄過程中發(fā)生崩盤、損壞等現(xiàn)象。

硅片減薄機(jī)的應(yīng)用范圍非常廣泛，不僅在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域有重要應(yīng)用，還在太陽能電池板、傳感器、激光器等領(lǐng)域的制造過程中發(fā)揮重要作用。在這些應(yīng)用中，硅片減薄機(jī)都能夠提供高質(zhì)量、高精度的硅片，為產(chǎn)品的性能和品質(zhì)提供有力保障。